Abbildungsmodi

Typische Abbildungsmodi und ihre Anwendung

Mit einem akustischen Mikroskop kann man zerstörungsfrei Analysen über den inneren Aufbau von integrierten Schaltungen ausführen. Insbesondere Adhäsionsprobleme an inneren Interface-Strukturen, Delaminationen und Risse können detektiert und analysiert werden.

Um detaillierte Einsichten zu bekommen, werden verschiedene Abbildungs- oder Scan Modi verwendet, deren Anwendungen an den folgenden Beispielen erklärt werden. Alle Beispielsbilder wurden an demselben integrierten Schaltkreis aufgenommen.

Dieser IC wurde für die Darstellung der unterschiedlichen Abbildungsmodi benutzt.