AUTO INGOT

Das AUTO INGOT ist ein akustisch-tomographisches Analysesystem für die Volumenanalyse größerer Bauteile, ursprünglich entwickelt für die Inspektion einkristalliner Si Ingots. Andere Materialsysteme wie z.B. Ge, GaAs usw. sind möglich. Für Si werden so genannte „Pinholes“ (Micro-Voids) analysiert, wobei hierbei Information über die Defektgröße und Defekttiefe im Vordergrund stehen.

Das System erlaubt die Messung von 5 – 12 Zoll Silizium Ingots bis zu einer Länge von 400 mm und einem Gewicht von bis zu 75 kg. Die Defektauflösung beträgt 100 µm für Pinholes in Silizium. Andere Geometrien von Proben können kundenspezifisch entwickelt werden (Probenaufnahme und Scanner), ebenso Scan-Bereiche.

Detektierte Pin-Holes in einem 300mm Si-Ingot.