Eigenschaften

Die Wirkungsweise eines Ultraschall-Rastermikroskops

Die besonderen Eigenschaften der Akustomikroskopie bestehen in der zerstörungsfreien Analyse des Volumens der analysierten Proben, vor allem für Fälle von optisch nicht transparenten Proben, die auch mittels Infarot-Mikroskopie oder Röntgenmikroskopie nicht zu analysieren sind. Die Kontraste entstehen durch die Detektion der akustischen Impedanz Z der Probe. Einfach formuliert: Dem Produkt aus Schallausbreitungsgeschwindigkeit multipliziert mit der Materialdichte (Z = v* Dichte). Eine technologische Besonderheit stellt die Eigenschaft von Schallwellen dar, dass diese an Lufteinschlüssen (akustische Imedanz Z = 0) total reflektiert werden. In diesem Fall detektiert man einen sehr hellen Kontrast, verbunden mit einer Phasenumkehr. So können Materialdefekte wie Mikrorisse, Einschlüsse, Gaseinschlüsse und Delaminationen, mit vergleichbarer Auflösung wie im Lichtmikroskop, dargestellt werden.

Akustische Abbildung und Analyse
properties