Unsere Produkte

SAM Linie
Die SAM Linie beinhaltet universelle Produkte von Ultraschall-Rastermikroskopen einsetzbar im Forschungsbereich und zur Qualitätskontrolle im industriellen Bereich. Unser innovatives Hardware/Software-Plattform-Konzept ermöglicht es Ihnen die Geräte modular leicht zu bedienen und universell einzusetzen. Wir bieten ein umfangreiches Programm von Hardware-Komponenten an, welches vielfältige Nachrüstungen ermöglicht. pfeil mehr

SAM Premium Linie
Unsere SAM Premium Linie verbindet Ultraschallmikroskopie und optische Mikroskopie. Diese Technologie ermöglicht die Kombination des Scanners sowohl mit einem inversiven als auch einem Auflicht-Mikroskop. Der Frequenzbereich bis 2.000 MHz ermöglicht Auflösungswerte akustischer Bilder im µm-Bereich. pfeil mehr

Auto Wafer Linie
Mit unserer Auto Wafer Linie bieten wir Ihnen ein vollautomatisches Ultraschallmikroskop zur Wafer-Inspektion, Bondkontrolle und MEMS Inspektionen. Hohlräume, Einschlüsse und Delaminationen lassen sich so in gebondeten Schichten leicht erkennen. Eine automatische Defekt-Review-Software ermöglicht eine vollständig automatisierte Auswertung der gesamten Wafer. Die Resultate sind auch als klarf-files und VEGA MAP ausgebbar. Eine GEM/SECS-Anbindung ist möglich. pfeil mehr

SAM Auto Tray Linie
Mit der SAM Auto Tray Linie bieten wir Ihnen vollautomatische Ultraschallmikroskope die speziell zur Wafer-Inspektion von elektronischen Baugruppen und Modulen, sowie IGBT- Modulen entwickelt wurden. Hierdurch lassen sich Fehlstellen wie Voids, Blasen, Löchern, Einschlüssen, delaminierte Bereiche oder Dickenvariation in gebondeten Interfaces einfach erkennen. Besonderer Vorteil unserer Produkte ist die Möglichkeit mehrere Schichten gleichzeitig zu kontrollieren. Wir bieten Ihnen ebenfalls ein vollständig automatisiertes Softwarepaket zur quantitativen Anwendung. pfeil mehr

Auto Ingot
Mit dem Auto Ingot haben wir ein vollautomatisches Ultraschallmikroskop entwickelt, dass die Untersuchung einkristalliner Si/ Ge/GaAs Ingots ermöglicht. Insbesondere Einschlüsse (Pinholes) und Risse sind detektierbar. pfeil mehr

Applikationsspezifische Geräte
Wir entwickeln auch applikationsspezifische Geräte, angepasst auf Ihre individuellen Anforderungen und Anwendungen, manuelle Bedienung und automatisiert.