Auto Wafer Linie

SAM 300 AUTO WAFER ist eine speziell für die “Inline” Produktionskontrolle entwickelte Produktlinie. Es entspricht der Reinraumklasse 10.

Es wurde für die Inspektion von Wafern oder gebondeten Wafern (MEMS) entworfen um Hohlräume, Einschlüsse oder Delaminationen in gebondeten Schichten zu entdecken.